膜厚測定システム　MCPD series 光干渉法・ピークバレー法／非接触膜厚計大塚電子株式会社

ディスプレイ評価・検査機器、科学計測・分析機器、医療機器の分野でアプリケーション、プロダクトを提供

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目的に応じた最適システムを提供　膜厚測定システム　MCPD series

MCPD検出器（MCPD-9800 / MCPD-3700 /MCPD-7700 /MCPD-5000 /MCPD-N500）と、フレキシブル光ファイバー、豊富なオプション類を組み合わせることにより、目的に応じた最適システムを提供します。

MCPD検出器	測定波長範囲
MCPD-9800：広ダイナミックレンジタイプ	360～1100nm
MCPD-3700：標準タイプ	220～1000nm
MCPD-7700：高感度タイプ	220～1100 nm
MCPD-5000：近赤外タイプ	900～1600 nm
MCPD-N500：近赤外タイプ	1100～2500 nm

各種膜厚計測一覧

分光エリプソメータ　FE-5000　　卓上型分光エリプソメータ　FE-5000S
反射分光膜厚計 FE-3000　　膜厚モニター FE-300

「膜厚測定セミナー・個別技術相談会」を開催いたします〔 2012年4月11日更新〕

半導体ウエハ上膜（酸化膜、ちっ化膜、レジスト）
レジスト剥離液の厚み、ウエット状態の膜
コーディングフィルム（塗布膜、蒸着膜、接着剤、アクリル樹脂、光ディスク、ビデオヘッド
プラスチックフィルム（PET、PP、PE、PC、Nylon）、機能性フィルム、包装用フィルム

■システム構成
システム構成図
(1)MCPD検出器　(2)反射膜厚測定ユニット　(3)Y型ファイバー
(4)測定用光源

■測定例

セルギャップの干渉スペクトル

半導体ウエハ上膜（酸化膜、ちっ化膜、レジスト）
レジスト剥離液の厚み、ウエット状態の膜
コーディングフィルム（塗布膜、蒸着膜、接着剤、アクリル樹脂、光ディスク、ビデオヘッド
プラスチックフィルム（PET、PP、PE、PC、Nylon）、機能性フィルム、包装用フィルム

■システム構成

システム構成図

(1)MCPD検出器 (2)エリアマーカー用光源 (3)エリアマーカー付き
ファイバー (4)顕微鏡　(5)顕微鏡アタッチメント　(6)顕微鏡用安定
化電源

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有機OPC系、無機セレン系、アモルファスシリコン

■システム構成

システム構成図

(1)MCPD検出器　(2)Y型ファイバー　(3)X-Y-θステージ　(4)測定用光源

■測定例
感光ドラムの測定ポイントごとにおける膜厚変化

■システム構成
システム構成図
(1)MCPD検出器　(2)反射膜厚測定ユニット　(3)Y型ファイバー
(4)測定用光源

■測定例
気-液海面上の単分子膜スペクトル

■システム構成

システム構成図

(1)MCPD検出器　(2)耐真空用Y型ファイバー　 (3)測定用光源

■測定例
蒸着フィルムの干渉スペクトル

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半導体ウエハ上膜（酸化膜、ちっ化膜、レジスト
レジスト剥離液の厚み、ウエット状態の膜
コーディングフィルム（塗布膜、蒸着膜、接着剤、アクリル樹脂、光ディスク、ビデオヘッド
プラスチックフィルム（PET、PP、PE、PC、Nylon）、機能性フィルム、包装用フィルム

■システム構成

システム構成図

(1)MCPD検出器　(2)受光用ファイバー　(3)ファイバー切替ユニット
(4)Y型分岐ファイバー　(5)測定用光源

■測定例
オプティカルディスクの保護膜の干渉スペクトル

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