ディスプレイ評価・検査機器、科学計測・分析機器、医療機器の分野でアプリケーション、プロダクトを提供
お問い合せ
サイト内検索
HOME
>
製品情報
(
製品情報サイトマップ
)>膜厚モニター FE-300
薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
反射スペクトルを用いた膜厚解析
コンパクト・低価格でありながらも高精度測定を実現
条件設定や測定操作が簡単。どなたでも手軽に膜厚測定可能。
非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能
非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)が可能
各種膜厚計測一覧
分光エリプソメータ FE-5000
膜厚測定システム MCPD series
卓上型分光エリプソメータ FE-5000S
反射分光膜厚計 FE-3000
絶対反射率測定
多層膜厚解析(10層)
光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)
■
多層膜
■
屈折率傾斜
■
非干渉層
■
超格子構造
■
異方性
■
半導体ウエハ(レジスト、SOI、SiO
2
など)
■
光学フィルム(ARフィルム、ITOなど)
ページTOPへ
対応膜厚
標準
薄膜
サンプルサイズ
200mm × 200mm × 5mm (厚さ)
測定膜厚範囲(nd)
100nm 〜 40μm
10nm 〜 20μm
測定波長範囲
450nm 〜 780nm
300nm 〜 800nm
膜厚精度
*1
±0.2nm 以内
±0.2nm 以内
繰り返し性
*2
0.1nm 以内
0.1nm 以内
測定時間
0.1s 〜 10s 以内
スポット径
約φ 3mm
寸法(WDH)
280(W) × 570(D) ×350(H) mm
重量
約 24kg
*1 VLSI社膜厚スタンダードのシリコン酸化膜の膜厚が約100nmの試料に対して、測定保証書記載の測定保証値範囲
*2 試料の同一ポイントを繰り返し測定したときの拡張不確かさ(包含係数2.1)
■
PET基板上のDLC膜サンプル
■
Si基板上のSiNx
ページTOPへ