


| 手動タイプ | 自動タイプ | |||
| 対応膜厚 | 厚膜 | 薄膜 | 厚膜 | 薄膜 |
| サンプルサイズ | 200mm × 200mm | φ300mm | ||
| 測定膜厚範囲(nd) | 100nm 〜 40μm | 10nm 〜 20μm | 100nm 〜 40μm | 10nm 〜 20μm |
| 測定波長範囲 | 400nm 〜 800nm | 300nm 〜 800nm | 400nm 〜 800nm | 300nm 〜 800nm |
| 膜厚精度 *1 | ±0.5nm | ±0.5nm | ±0.5nm | ±0.5nm |
| 繰り返し性 *2 | ±0.05nm | ±0.03nm | ±0.05nm | ±0.03nm |
| 測定時間 | 0.1s 〜 10s 以内 | 0.1s 〜 10s 以内 | ||
| スポット径 | 約φ 1.2mm | 約φ 1.2mm | ||
| マッピング測定 | 不可 | 不可 | 可 | 可 |