反射分光膜厚計　FE-3000 -光干渉式膜厚計／屈折率・光学定数解析- 大塚電子株式会社

紫外から近赤外域の反射光により、多層膜の膜厚測定・光学定数解析が可能な光干渉式膜厚計です。

分光法の採用により、非接触・非破壊かつ高精度で再現性の高い膜厚測定ができます。

広い波長域に対応（190nm～1100nm）しています。

薄膜から厚膜まで幅広い測定範囲に対応しています。（1nm～250μm)

微小領域の測定を実現します。

絶対反射率測定

多層薄膜解析

膜物性解析（n：屈折率、k：消衰係数)

■ FPD
　・LCD、TFT、有機EL
■ 半導体、複合半導体
　・Si半導体、半導体レーザ、強誘電体
■ データストレージ
　・DVD、磁気ヘッド
■光学材料
　・フィルタ、反射防止膜
■ FPD
　・LCD、TFT、有機EL
■フィルム
　・ARフィルム
■その他
　・建材

	標準タイプ	厚膜対応タイプ
測定レンジ	1 nm ～ 40 μm	0.8 μm～ 250 μm
測定波長範囲	190 nm ～ 1100 nm	750 nm ～ 850 nm
検出器	電子冷却型フォトダイオードアレイ 512ch 電子冷却型CCDエリアイメージセンサ 512ch	電子冷却型フォトダイオードアレイ 512ch
光源	D2/I2(紫外-可視仕様)、 D2(紫外仕様)、I2(可視仕様)	I2(可視仕様)
電源	AC100V±10V 750VA (自動ステージ仕様)
寸法（WDH）	481(W) × 770(D) × 714(H) mm (自動ステージ仕様、本体部)
重量	約 96kg (自動ステージ仕様、本体部)