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よみもの 【入門】分光法による膜厚解析
【入門】分光法による膜厚解析

7.おわりに

現在、弊社では、190〜1100nmまでの分光手法を確立しているわけですが、今後、着色膜や近赤外域での屈折率の測定などのニーズにお答えしていくためには、さらに近赤外分光、赤外分光技術も確立する必要があると考えています。

また、薄膜の解析アルゴリズムについては、日本発の技術分野(液晶、複合半導体、記録メディア関連)に特化して、モデル解析手法を追加していく予定です。
(2000/10)
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