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HOME>よみもの>Perfluorocompounds(PFCs)の計測技術−半導体業界のPFCs削減活動における評価方法

５．おわりに

以上PFC計測技術について述べました。現在、半導体製造装置から排出されるPFCは年々増加の傾向にあります。そのPFCを削減する取り組みがおこなわれ、それに伴い、計測技術も要求されています。それに携わる人がすべて熟練者ではなく、大多数の人が初心者です。FTIRを用いることで、PFC計測を簡便で、誰にでもおこなえる手法になることを期待しています。